Nach der Grundsatzeinigung über weitergehende Exportrestriktionen für Chipmaschinen muss sich der Marktführer ASML auf längerfristige Einbußen einstellen. Wie die F.A.Z. aus dem Umfeld der Verhandlungen erfuhr, ist daran gedacht, künftig bestimmte fortgeschrittene Typen der sogenannten DUV-Maschinen von der Ausfuhr nach China auszuschließen. Bisher darf ASML nur seine modernsten Maschinen, die EUV-Geräte, nicht dorthin ausliefern.

Die Vereinigten Staaten, die Niederlande und Japan als Standort weiterer wichtiger Chipmaschinenhersteller hatten sich am Freitag auf Exportbeschränkungen nach China im Grundsatz geeinigt, wie Bloomberg berichtete. „Nach unserem Verständnis sind Schritte hin zu einer Einigung zwischen den Regierungen gemacht worden, die sich auf fortgeschrittene Chipherstellungstechnologie konzentrieren“, teilte ASML auf Anfrage mit. Sie müssten nun im Detail festgelegt und in Gesetze gegossen werden, „was dauern wird“. Vorstandsvorsitzender Peter Wennink hatte am Mittwoch bei der Präsentation von Jahreszahlen von möglicherweise Monaten gesprochen.

ASML gibt sich erst einmal optimistisch

ASML ist der führende Hersteller von Chipmaschinen für Intel , TSMC und andere. Das Geschäft mit China steuert etwa ein Siebtel zum Umsatz mit Chipmaschinen bei. Die USA wollen China von westlicher Hochtechnologie abschneiden, unter anderem aus militärischen Gründen. Die Angelegenheit betrifft auch die deutschen Unternehmen Trumpf und Zeiss , für die ASML ein wichtiger Kunde ist. Auf amerikanischen Druck hin hat Den Haag schon bisher verhindert, dass ASML seine EUV-Maschinen – die Abkürzung steht für extrem ultraviolettes Licht – nach China exportiert. Auf diese gut 160 Millionen Euro teuren Geräte hat ASML global ein technisches Monopol. Die DUV-Maschinen – Preis je 5 bis 80 Millionen Euro – variieren in technischer Ausgeklügeltheit.

Da die Details der Vereinbarungen noch ausstehen und die Lieferzeiten der Lithographiemaschinen lang sind, ändert sich wenig an der Jahresprognose, die ASML vorige Woche abgab. „Wir rechnen nicht damit, dass diese Maßnahmen sich wesentlich auf unsere Erwartungen auswirken, die wir für 2023 veröffentlicht haben“, teilt das Unternehmen auf Anfrage mit. Für die Zeit danach stochert es im Nebel – zumal in der Zwischenzeit Verträge mit China mit Vorbehalt auszuhandeln sind. „Es ist sehr die Frage, ob das, was [bei den Verhandlungen] herauskommt, danach sehr sichtbar wird“, hatte Ministerpräsident Mark Rutte am Freitag gesagt.

Wennink mahnte vorige Woche zu Augenmaß. Er warnte unter anderem davor, das extrem komplexe „Ökosystem“ der Chipbranche mit seinen engen Lieferketten zu sehr zu beeinträchtigen. Chips würden sich verteuern, der Chipmangel werde sich verschärfen. Mehr noch: Ein isoliertes China könnte sich gezwungen sehen, schneller eigene Hightech-Maschinen zu entwickeln.

Wie reagiert Japan?

Die erste Reaktion aus Japan mit seinen Herstellern von Lithographiemaschinen war mager an Details. „Japan setzt Ausfuhrkontrollen auf Basis internationaler Kooperation strikt um“, sagte Wirtschaftsminister Yasutoshi Nishimura vor Journalisten. Die Regierung berücksichtige Exportkontrollen anderer Staaten und reagiere angemessen, sagte Nishimura. Zu den konkreten Gespräch mit den Vereinigten Staaten lehnte er jeden Kommentar ab.

Auch seine Äußerungen konnte man aber so deuten, dass nicht alle Details der Exportkontrollen geklärt sind – und zudem, dass Japan die amerikanischen Regulierungen nicht eins zu eins übernehmen werde. Befürchtet wird in politischen Kreisen in Tokio auch, China werde auf japanische Exportkontrollen mit Gegenmaßnahmen reagieren. Tokyo Electron , der führende japanische Hersteller von Maschinen für die Halbleiterproduktion, äußerte sich nicht, ebenso wenig Nikon .

China arbeitet derzeit an einem weiteren Subventionspaket für die Halbleiterbranche. Vor dem Hintergrund der amerikanischen Sanktionspolitik will Peking ihr über die kommenden fünf Jahre mit weiteren 1000 Milliarden Yuan (135 Milliarden Dollar) an staatlichen Beihilfen unter die Arme greifen. Das soll nicht nur den Aufbau neuer Halbleiterwerke forcieren, sondern auch Forschung und Entwicklung vorantreiben. Vor allem aber steht die Ausrüsterindustrie im Blick der chinesischen Industriepolitik.

Chinas Halbleiterindustrie wächst stark

Für sie sind angesichts der anstehenden Blockaden von europäischen, amerikanischen und japanischen Maschinen zur Herstellung von Chips heimische Unternehmen wie Naura Technology, die Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc China oder Kingsemi entscheidend. Daher werden die bereits seit Jahren bestehenden Förderprogramme ein weiteres Mal erheblich aufgestockt. So ist geplant, 20 Prozent der jeweiligen Kapitalausgaben der Firmen als direkte Beihilfen zuzuschießen. Darüber hinaus soll es steuerliche Anreize geben, um die Forschung zu forcieren und Gewinne sofort wieder in neu zu entwickelnde Anlagen zu stecken.

Ganz ähnlich gehen der Inselstaat Taiwan und Südkorea beim Aufbau ihrer nationalen Champions vor. Der Aufbau von Chinas Chipbranche hängt seit den neunziger Jahren einerseits an engen Kooperationen mit Technologieführern aus Europa, Amerika, Japan, Korea und Taiwan. Andererseits investiert der Staat massiv in die Branche. Vor fünf Jahren erklärte Peking, in der Halbleiterindustrie ganz auf eigenen Beinen stehen zu wollen.

Nach Angaben der Semiconductor Industry Association (SIA) zog Chinas Halbleiterindustrie vor zwei Jahren mit einem branchenweiten Umsatz von rund 40 Milliarden Dollar und einem Marktanteil von knapp 10 Prozent mit der von Europa gleich. Um 2015 hatten die Erlöse noch 13 Milliarden Dollar betragen. Beim jetzigen Wachstum von durchschnittlich 30 Prozent im Jahr könnten die rund 15.000 als Halbleiterfirmen registrierten chinesischen Unternehmen schon nächstes Jahr 17 Prozent Weltmarktanteil erreichen und Bereiche wie den der sogenannten Industriechips mit Strukturgrößen von 28 Nanometern dominieren. Das aber wollen vor allem die Amerikaner verhindern.